超纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。
　　超纯水,是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，超纯水电阻率方可达18.25MΩ*cm

　　中国国家实验室分析用水标准（GB6682-92）
　　指标名称 一级水 二级水 三级水
　　PH值范围（25℃） - - - - 5.0-7.5
　　比电阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2
　　电导率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5
　　可氧化物[以O计]mg/L -- 0.08 0.40
　　吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 --
　　二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 --
　　蒸发残渣（mg/L） -- 1.0 2.0